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    光刻設備、復合材料以及制造方法

    853   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:00:02
    本發明公開了一種光刻設備、復合材料以及制造方法,所述光刻設備包括:照射系統,構建用于調節輻射束;支撐件,構造用于支撐圖案形成裝置。所述圖案形成裝置能夠將圖案在輻射束的橫截面上賦予輻射束以便形成圖案化的輻射束。所述光刻設備進一步包括:襯底臺,構建用于保持襯底;和投影系統,構建用于將圖案化的輻射束投影到襯底的目標部分上。所述光刻設備可以設置有復合材料,其中,碳纖維層和鈦層設置在所述復合物中。
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