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    CVD系統及制備大尺寸炭／炭復合材料的方法

    813   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:10:04
    本發明提供了一種CVD系統及制備大尺寸炭/炭復合材料的方法，所述系統包括CVD氣相沉積爐，所述CVD氣相沉積爐包括爐體、設于爐體內相連通的下加熱區及上加熱區和貫穿于上下加熱區內的料柱組，所述爐體的側壁內設有分別對上下加熱區加熱的第一加熱腔和第二加熱腔，所述下加熱區內設有由下到上依次設置的第一預熱導流機構和第一裝料分流機構，所述上加熱區設有補氣結構和第二裝料分流機構，所述爐體側壁設有與第一加熱腔聯通的氮氣進氣口。通過分層導向進氣且分層預熱，優化了流場，提高產品質量均一性。CVD過程中控制氣體定向流動，結合優化的溫度、壓力和氣體流速的控制，實現大尺寸熱場坩堝炭/炭復合材料的快速制備。
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    聲明：
    “CVD系統及制備大尺寸炭／炭復合材料的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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