一種力學性能測試技術的用于薄膜力學性能測試的單軸微拉伸試件,包括U型支撐平臺、移動平臺、蛇形支撐彈簧、對中標記、位移標記,蛇形支撐彈簧連接U型支撐平臺和移動平臺,U型支撐平臺和移動平臺與薄膜試樣的兩端懸空相連,對中標記位于移動平臺的上面,位移標記粘接在靠近薄膜試樣、移動平臺的尾端。本發明與國內外現有微拉伸試件相比,制備工藝可行,重現性好,成品率高,并且克服了拉伸過程中由支撐梁塑性變形而引起的實驗誤差。本發明集成式框架微拉伸試件適用于微機電系統中的各種單質金屬、合金和復合材料等薄膜材料微觀力學性能測試。
聲明:
“用于薄膜力學性能測試的單軸微拉伸試件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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