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    基于柔性薄膜的MEMS執行器及其制作方法

    1128   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:43:36
    本發明公開了一種基于柔性薄膜的MEMS執行器，構成包括透明基底(1)，透明基底(1)的中部設有銅線圈(2)，銅線圈(2)的兩端分別連接有設置在透明基底上的導電片(3)，透明基底(1)的兩側經間隔層(4)設有硅襯底(7)，硅襯底(7)上設有一層柔性薄膜(5)，柔性薄膜(5)的內表面上設有一層磁性復合層(6)，磁性復合層(6)位于銅線圈(2)的上方。本發明具有優異的柔韌性和高斷裂強度，大大增加了設備的穩定性和效能以及使用壽命。本發明還采用磁性復合材料來替代永磁鐵的使用，可以同時保證薄膜的柔性和磁力的強度，提高了實用性和便利性。
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    聲明：
    “基于柔性薄膜的MEMS執行器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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