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    用來收集和回收沉積材料的薄膜沉積設備的柵板系統

    950   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:45:53
    在薄膜沉積設備中對材料進行收集回收的裝置，特征在于元件（3）能截獲在沉積過程中材料的浪費部分。這些元件：布置在各模塊（1、5）中，根據沉積腔室的形狀可組合成多種構造；依據待回收的材料，由于機電驅動器（4）、機械傳動系統（6、10、15a、15b）、在驅動器（4）與沉積過程的軟件/面板控制器間的電子接口（9）而回轉從而使元件轉動自動化；是可拆除的；能與所收集材料分離。這些元件具體地可以是柵板（3），豎向設置在每一模塊（1、5）中，由復合材料制成，該材料特征是金屬材料或氧化鋁（兩者都適于超高真空條件）的芯部、和兩個表面聚合物層，表面聚合物層對所選芯部具有低粘著力因此能被容易地去除，同時耐受沉積腔室的溫度-壓力條件。
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    復合材料
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