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    用于鋁材表面沉積類金剛石膜的裝置

    891   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:58:24
    本實用新型公開的用于鋁材表面沉積類金剛石膜的裝置,包括絕緣材料制的反應室,反應室與化學氣相沉積的供氣系統及真空系統相連通,在反應室內設有由陶瓷圍成的封閉室和兩塊上下平行的電極,其中上電極位于封閉室中,其下表面緊貼封閉室的底板面,上電極與等離子體激發脈沖電源相連,下電極接地并固定在封閉室外的加熱器上,加熱器與反應室外的加熱溫控裝置相連,在加熱器的底部安裝有用于調節上、下兩電極間距的螺桿,供氣管的噴嘴位于兩平行電極間。該裝置結構簡單,使用方便。應用該裝置可以實現在鋁材表面涂覆類金剛石薄膜,大大提高了AL/DLC復合材料的表面硬度、耐腐蝕性和電絕緣性等綜合性能。且成膜迅速,膜厚可達4-6ΜM而不脫落,結合牢固。
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