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    減少管式PECVD插片劃傷的方法及采用該方法的鍍膜工藝

    948   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 20:32:55
    本發明涉及新能源技術領域,特別涉及一種減少管式PECVD插片劃傷的方法及采用該方法的鍍膜工藝。一種減少管式PECVD插片劃傷的方法,該方法主要過程是將空舟放入PECVD爐管,在石墨舟上鍍一層氮氧化硅膜,具體包括以下步驟:第一步:空石墨舟進入PECVD管;第二步:用氮氣對PECVD管吹掃,去除PECVD管內的空氣;第三步:對PECVD管進行抽真空;第四步:沉積氮氧化硅;第五步:用氮氣對PECVD管吹掃,去除PECVD管內的SiH4/N2O氣體;第六步:退出石墨舟。采用在石墨舟表面鍍氮氧化硅膜為阻擋層的這種方式,降低石墨舟與硅片的直接接觸,減少插片時的劃傷,改善電池片的外觀。
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