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    利用真空磁控濺射鍍膜技術制備鋰電池C-Si負極涂層的方法

    777   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:54:26
    本發明公開一種利用真空磁控濺射鍍膜技術制備鋰電池C?Si負極涂層的方法，該方法是將負極基材安裝到極片架上；開啟連續式真空磁控濺射鍍膜設備，調整設備至可鍍膜工藝條件；投入待鍍膜基片架?銅箔；離子源等離子轟擊剝離銅箔表面氧化層、去除表面尖峰；直流濺鍍C?Si膜；加熱退火處理；出料后特性檢查；本發明通過磁控濺射真空鍍膜技術在鋰電池負極銅箔上沉積一層C?Si復合負極薄膜，以提高負極電極電性能。
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