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    基于摻鉺鈮酸鋰的光波導芯片及鎖模激光器

    962   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:09:48
    一種基于摻鉺鈮酸鋰的光波導芯片及鎖模激光器，該芯片自下向上依次是襯底、二氧化硅包層、摻鉺鈮酸鋰薄膜和射頻電極；利用光刻刻蝕所述的摻鉺鈮酸鋰薄膜，形成脊型摻鉺鈮酸鋰波導；在所述的摻鉺鈮酸鋰波導的兩側、互相平行地設置所述的射頻電極。本發明采用摻鉺鈮酸鋰薄膜作為波導，即保留了摻鉺波導的低噪聲增益特性，又引入了鈮酸鋰波導的電光特性，滿足了主動鎖模激光器所需的增益和調制需求，配合直流偏置，可以實現低噪聲且重頻連續可調的集成主動鎖模激光器。通過脊型摻鉺鈮酸鋰波導將電極間距靠近，降低所需的調制電壓和電功耗，對信號光和泵浦光模斑的強束縛還可以增加兩者的交疊，提升泵浦效率。
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