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    基于磁控濺射的在鈮酸鋰基片上的鈦酸鍶鋇成膜方法

    1002   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:57:58
    本發明屬于薄膜制備技術領域，具體涉及一種基于磁控濺射的在鈮酸鋰基片上的鈦酸鍶鋇成膜方法。包括如下步驟：將待濺射鈮酸鋰基片移入真空室室內并放置于樣品座上；將真空室內的靶材的角度調整到預設角度，調節靶材到基板的距離到預設距離；對真空室進行抽真空，到達本底真空；通入氧氣和氬氣，在基片上濺射二氧化硅；在氬氣環境下，打開直流電源在基片上濺射金屬鈦；在氬氣環境下，打開直流電源在基片上濺射金屬鉑；將基片加熱至400攝氏度后，在氧氣和氬氣條件下，打開射頻電源在基片上濺射鈦酸鍶鋇；完成步驟70后，加熱基片至650攝氏度，在氧氣環境下退火。本發明不僅簡化了步驟并且節約了成本；且鈦酸鍶鋇薄膜結晶效果良好。
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    “基于磁控濺射的在鈮酸鋰基片上的鈦酸鍶鋇成膜方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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