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    用于全固態鋰離子電池電解質膜的制備方法及電解質膜

    1009   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 22:15:32
    本發明公開了一種用于全固態鋰離子電池電解質膜的制備方法,包括如下步驟:提供Si襯底;制備Li2O和TiO2的混合物靶材,并在混合物靶材上貼敷La2O3片,在Si上沉積LiLaTiO層;以Li3PO4為靶材,利用反應磁控濺射,在LiLaTiO層上沉積第一LiPON層;以Li3PO4為靶材,利用反應磁控濺射,在第一LiPON層上沉積第二LiPON層;制備Li3PO4與Si3N4的第一混合物靶材;以Li3PO4與Si3N4的第一混合物靶材,利用磁控濺射,在第二LiPON層上沉積第一LiSiPON層;制備Li3PO4與Si3N4的第二混合物靶材;以及制備Li3PO4與Si3N4的第二混合物靶材,利用磁控濺射,在第一LiPON層上沉積第二LiSiPON層。本發明通過晶格結構的漸變設計,達到了較好的能帶結構,提高了材料電導率性能,最終能夠顯著提高全固態鋰離子電池的性能。
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