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    低電阻率n-型半導體金剛石及其制備方法

    843   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:00:32
    本發明涉及摻雜鋰的金剛石：摻雜了鋰和氮的低 電阻率的n－型半導體金剛石，以及制備這種金剛石的方法。 低電阻率的n－型半導體金剛石一共包含 1017cm－ 3或者更多的鋰原子和氮原子，其中鋰原子被摻 雜到碳原子晶格間隙位置，氮原子被摻雜到碳原子的置換位置 上，鋰和氮保持互相相鄰的排列。為了得到低電阻率的n－型 半導體金剛石，在金剛石氣相合成方法中，利用真空紫外光通 過光激發光離解源材料和用準分子激光照射鋰源材料以散射 并提供鋰原子，使得金剛石得以被制造出來。
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