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    新型CMP研磨劑及其制造方法

    974   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:11:38
    本發明公開一種CMP研磨劑及其制造方法，包括研磨粒子、保護劑和水，其中研磨粒子由碳包覆鋰的核殼結構，研磨粒子可為直徑為30?80納米的球型，保護劑中含有表面活性劑、增稠劑和有機酸。該CMP研磨劑的制造方法為：1）將鋰片和氧化鈣混合物，通過高能球磨法在惰性氣氛下制備鋰和氧化鈣的粒子；2）將有機碳源加入所述的鋰和氧化鈣的粒子中，進行充分球磨，使其混合均勻；3）將混合均勻好的球磨材料，在惰性氣氛下高溫煅燒碳化后得到碳包覆鋰的研磨粒子。本發明公開的一種CMP研磨劑，能夠在銅層研磨的既不損傷銅層又不腐蝕銅層。
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    聲明：
    “新型CMP研磨劑及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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