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    接合體以及彈性波元件

    729   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:24:43
    提供一種能夠將由鈮酸鋰和/或鉭酸鋰構成的壓電性材料層牢固地接合于由莫來石構成的支撐基板上的微結構。作為解決方案，提供一種具備支撐基板(3)以及壓電性材料層(2)的接合體(1)。支撐基板(3)由莫來石構成，壓電性材料層(2)的材質為LiAO3，其中，A為選自由鈮和鉭構成的組中的一種以上的元素。具備：沿著支撐基板(3)與壓電性材料層(2)之間的界面而存在的界面層(4)、以及存在于界面層(4)與支撐基板(3)之間的支撐基板側中間層(5)。界面層(4)以及支撐基板側中間層(5)分別以選自由鈮和鉭構成的組中的一種以上的元素、氧、鋁和硅作為主成分。
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