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    基于帶寬增強型FBAR濾波器的制造方法

    725   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:02:36
    本發明提供了一種基于帶寬增強型FBAR濾波器的制造方法。在基體上預先刻蝕出呈對稱排布的空腔矩陣；在所述空腔矩陣內通過沉積二氧化硅，并涂覆鈮酸鋰晶體薄膜，構成布拉格反射層；在所述布拉格反射層上方設置呈蓋狀的底電極，覆蓋每個空腔，并在所述底電極上設置有與所述底電極材質相同的支撐柱；在相鄰的底電極之間進行氧化鋅直流磁控濺射，構成氧化鋅層；其中，所述氧化鋅層的填充高度不超過所述蓋狀的底電極的上蓋面；在所述氧化鋅層上進行制備介電層；其中，所述介電層通過氮化鋁沉積填充構成；在所述介電層上通過直流磁控濺射鍍膜的方式構成厚膜層，并在所述厚膜層上進行光刻和蝕刻，構成頂電極。
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    “基于帶寬增強型FBAR濾波器的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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