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    復合藍寶石襯底基片及其制備方法

    1025   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:10:13
    一種復合藍寶石襯底基片及其制備方法，該復合 藍寶石襯底基片是在藍寶石基片(α－ Al2O3)背面覆蓋一層鋁酸鋰(γ－ LiAlO2)構成，它是利用氣相傳輸 平衡方法制備的，該復合藍寶石襯底基片 LiAlO2/α－ Al2O3，克服了藍寶石(α－ Al2O3)硬度高的缺點，提高了藍寶石基氮化物芯片 LiAlO2/α－ Al2O3/GaN的減薄和劃片的效率，劃片成品率普遍提高5％－10 ％。
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