箱式化學氣相沉積系統采用爐體和智能控制一體化設計,整個爐體美觀、大方。PID可編程序智能控溫,移相觸發,爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料,雙層爐殼間配有風冷循環系統,爐門底部升降,節能安全?;瘜W氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業中應用最為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
定制流化床CVD系統,由真空立式管式爐、供氣系統、真空系統、真空測量系統組成。該系統以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。該立式CVD管式爐廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等
該系統是一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。爐底部裝有滑軌,可通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻。該cvd高溫爐廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
KJ-T1200-S60K-4C型四路高溫真空CVD設備由KJ-T1200滑動式快速退火管式爐+真空系統+供氣系統組成 ,最高溫度可以達到1200度,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計,可以對多種氣體進行準確的混氣,然后導入到管式爐內部??焖偻嘶馉t爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。加為取得最快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端,是低成本快速熱處理的理想爐子。
該設備由蒸發器、混合器和反應器組成。采用氧化鋁纖維耐火材料。設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,30段可編程溫控系統,氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡單、方便設置各項技術參數。該CVD高溫爐廣泛應用于半導體工業中,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料等的鍍膜,該CVD鍍膜設備可在目標材料表面形成密集的HfCl4涂層.適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環??茖W等領域。
KJ-T1200 CVD是一種管式爐,配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質量流量計氣體流動系統。 它可以混合1-5種氣體用于CVD或擴散。該CVD高溫管式爐主要用于大學,科研機構和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。
KJ-CVD 是一種分體式管式爐,配備 60mm 直徑的石英管、真空泵和四通道質量流量計氣體流動系統。 可混合1-6種氣體進行CVD??頒VD生長系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
該高溫化學氣相沉積系統的工作溫度為300℃至1600℃,配備真空泵,氣體混合裝置。采用溫度控制系統,高溫精度,出色的氣體流量精度,易于操作,出色的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學,科研機構和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。
該設備是一款帶有預熱系統的滑動PECVD系統。該系統包含等離子射頻電源,預熱爐,滑動式管式爐,4通道質量流量供氣系統和旋片泵組成。 PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜,可用于生長納米或CVD方法來制作各種薄膜。
科佳高真空PECVD設備由管式爐、真空系統、氣體供應系統、射頻電源系統等組成。通過射頻電源將石英真空室中的氣體改變為離子狀態,等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統主要用于金屬薄膜、陶瓷薄膜、復合薄膜、石墨烯等的生長。
該立式雙溫區CVD系統主要由:1200度雙溫區管式爐、3通道質量流量計供氣系統、2L/S抽速真空泵及相關連接件組成;設備下方加裝定向輪和萬向輪,設備整體占地尺寸小并可靈活移動。該設備適用于CVD工藝,主要用于大學,研究中心和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。
科佳公司研制開發了碳納米管、納米線連續生長專用設備,該設備由氣流控制系統、注液系統、多級溫控多區生長系統、水冷系統、碳納米管等組成。碳納米管生長爐最高工作溫度為1400℃,可在0-1400℃之間連續調節,熱場垂直分布,兩點控溫。設備頂部設有注液口和導流件。這種碳納米管/薄膜CVD設備可以實現連續和不間斷生長。
KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統、質量流量計氣路系統、等離子電源系統組成??蛇m用于石墨烯生長等。
KJ-T1200CVD是一種管式爐,配備60mm直徑的高純石英爐管、真空泵和四通道質量流量計+一個浮子流量計氣體流動系統。它可以混合1-4種氣體用于CVD或擴散。
六通道高真空PECVD系統是一款由1200度管式爐,等離子射頻電源,分子泵高真空,六通道氣路等組成的等離子化學氣相沉積系統,加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。該等離子化學沉積系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。也可可應用于納米材料生長,石墨烯生成、金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜等各種薄膜等,可制備出高質量的透明導電膜,用作手機觸摸屏
該設備主要用于石墨稀、納米材料工藝涂層、多晶硅、碳化硅、擴散、氧化、退火等工藝。
KJ-MZ1700-12LX帶攪拌功能升降式爐主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室,供化學分析、物理測定以及金屬、陶瓷等的燒結和溶解,小型鋼件等加熱、焙燒、熱處理用。
這款底部裝料馬弗爐工作溫度≤1600℃。緊湊型爐腔設計,帶升降托盤,爐底可升降。該高溫箱式升降爐是研究實驗室中進行材料退火和燒結的理想設備。
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