陣列式PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)是一種高效、大面積的化學氣相沉積設備,通過等離子體激活反應氣體,在低溫下實現高質量薄膜的快速沉積。
高真空雙室多功能鍍膜設備是一種集成了多種PVD(物理氣相沉積)技術的先進鍍膜系統,通過雙腔室設計實現高效率、無污染、多工藝組合的薄膜制備。
真空氫化脫氫一體化設備主要用于鉿、鋯、鈦及其合金或稀土等吸氫材料的氫化及脫氫一體化處理。
設備用途:主要用于在硅片(或玻璃片)表面制備金屬薄膜(A I 、Ag 、Ni 、Cu、Ti 、Pd等),及有機薄膜,并能升級實現反應濺射。模塊式設計,可根據實際需求和功能,組合成型。
沈陽好智多新材料制備技術有限公司的超聲激振技術系列應用設備,主要用于金屬制備過程中的多種處理。它通過真空感應熔煉金屬,在金屬凝固前或凝固過程中,對金屬熔體施加高強度超聲激振,能夠實現粉末材料與母合金液的均勻化分散,還能控制金屬凝固組織和性能,比如細化晶粒等。
金屬溶滲工藝是在金屬的融化溫度以上,將多孔制件與熔融的液體金屬相接觸或滲入液體金屬內,利用毛細管作用,使液相金屬充填到預制件的孔隙內,形成致密的兩相或多相復合材料。本設備具體是將鎢絲密排于石英管內,將融化后的合金液(非晶合金)澆注壓力熔滲入鎢絲之間的孔隙內,經保溫后將石英管(內置鎢絲及合金液)快速淬入鎵銦錫合金液內(或者鹽水),達到快速凝固作用,制成復合材料零件。
產品應用:利用等離子弧加熱熔化放置于水冷銅坩堝內的高熔點金屬或陶瓷,通過設置于水冷銅坩堝外的高頻感應線圈進一步熔化攪拌合金液,在通過連續下拉機構完成鑄錠;熔鑄過程中可以連續加料。用于多晶硅、鈦合金、活性金屬以及高熔點陶瓷材料的高溫提純和凈化及鑄錠。
沈陽好智多新材料制備技術有限公司的電子束冷床熔煉鑄錠爐,主要用于多晶硅、鈦合金等活性金屬和高熔點金屬的高真空熔煉提純、凈化及鑄錠。該設備具備出色的真空性能,極限真空度可達6.67×10??Pa,壓升率不超過0.67Pa/H。電子槍額定功率為100KW,加速電壓35KV,加速電流7A,電子槍室真空度在10??~10?3Pa之間。電子束距離長度為400~800mm,功率密度大于2.5×10?W/cm2。
ISM 熔煉過程是在一種由水冷片或稱之為“手指型結構”組成的水冷銅質坩堝內,并在真空或者保護氣氛環境下進行的生產過程。整個結構沒有采用任何耐火材料爐襯從而杜絕了金屬/坩堝之間的反應。這樣也就消除了金屬陶瓷夾雜污染的可能性,生產出超純凈、高品質的產品。普遍應用于鈦、鋯等材料的熔煉提純與離心鑄造。
設備用途:設計專門用于熔融樣品,適合實驗室、工廠用于材料研究、開發、質量控制等。氣體保護環境下熔融、合金化反應性和高熔點金屬材料。適合稀土金屬元素及合金的熔融。
LOCA作為反應堆運行過程中比較嚴重的事故,是反應堆基準設計事故,而作為確保裂變產物不泄漏的第一道屏障,鋯合金優異的性能對于保證LOCA-nAT的核安全具有重要意義,本設備用于模擬LOCA工況下鋯合金的高溫氧化行為,抗熱沖擊性能和力學性能及顯微組織等方面的內容,為反應堆用鋯合金的研發提供了技術支持。
產品應用:設備是集合金熔煉、澆注、模殼雙區保溫、定向凝固為一體的單晶高溫合金定向凝固設備。在凝固過程中獲得高的溫度梯度,穩定的晶體生長條件,該設備以實驗研究為主,兼顧小規模工業示范研究;采用的單晶制備技術:①籽晶法 ②選晶法。
LOCA作為反應堆運行過程中比較嚴重的事故,是反應堆基準設計事故,而作為確保裂變產物不泄漏的第一道屏障,鋯合金優異的性能對于保證LOCA-nAT的核安全具有重要意義,本設備用于模擬LOCA工況下鋯合金的高溫氧化行為,抗熱沖擊性能和力學性能及顯微組織等方面的內容,為反應堆用鋯合金的研發提供了技術支持。
產品應用:在真空或惰性氣體保護環境下,金屬材料(鋁合金等)加熱熔化后,通過黏度測試儀對高溫熔化材料的粘度指標進行測試的設備,用于材料高溫粘度測試研究。
設備用途:在光學玻璃鏡片上和硅太陽能電池上制備類金剛石薄膜,作為減反射膜和保護層,在紅外光學透鏡上制備類金剛石薄膜起到增透和保護作用。
利用電阻加熱產生熱能,將待成膜的物質置于真空中進行蒸發或升華,使之在基片表面析出的過程。用于制備各類金屬膜、有機薄膜等,適合有機發光二級管(OL ED) 和光伏電池等的有機/無機薄膜生長,廣泛應用千大專院校、科研機構的科研及小批量的生產。