設備型號 Equipment Model:PAR5500A;設備用途 Equipment Application:板式物理鍍膜設備用于鍍著透明導電薄膜于襯底(硅片、玻璃片、柔性基板)。
工藝氣體在射頻RF電磁場環境中電離相互反應,在襯底上沉積出相應的薄膜材料。
本設備為在線式,可與一臺或兩臺側出舟設備對接,實現石墨舟的自動傳輸和硅片自動裝卸,滿足在太陽能電池片生產過程中的PECVD工藝前后,將片籃中的硅片自動裝載到石墨舟,并將石墨舟輸送到PECVD設備中,或將PECVD設備中的石墨舟輸送到本設備,并將石墨舟中的硅片自動裝載到片籃中。
設備名稱:管式PE-Poly設備 Horizontal PECVD (Poly-Si);設備型號 Equipment Model:PD-520/PD-520L/PD-520MAX;設備用途 Equipment Application:TOPCon電池隧穿氧化層、i-Poly、D-poly沉積。技術特點 Features:隧穿氧化層、i-poly、D-poly三合一同管完成,減少工藝環節,有效提升良率、降低碎片率。
設備名稱:管式PECVD設備 Horizontal PECVD;設備型號 Equipment Model:PD-520/PD-520L/PD-520MAX;設備用途 Equipment Application:SiN、SiON等薄膜沉積。Depositionof SiN, SiON ,etc.技術特點 Features:可靠電極接觸,有效減少粉塵、降低高頻報警頻次。
集裝片和卸片一體,可從石英舟中把擴散后的硅片卸到片籃中,也可從片籃中將制絨后的硅片裝入石英舟中??稍?個石英舟插槽中插?兩片,實現單面擴散片工藝,也可在?個石英舟插槽中插入一片,實現雙面擴散片工藝。采用裝片與卸片可連續銜接?式,實現連續生產;也可單獨裝片或單獨卸片。
設備名稱:管式低壓氧化退火設備;設備型號:DOA-420/DOA-420L/DOA-420MAX;設備用途:低壓氧化、退火。技術特點 :1、大產能。High throughput.2、配套相關專利技術,可兼容或升級硼擴散工藝。
新能源新新材料過濾洗滌干燥一體機是中科新能研發制造的新型密閉多功能一體國標級過濾設備,在同個容器內,先后完成進料過濾、打漿洗滌、干燥、自動卸料等多種工藝的設備,簡化工藝流程、提高生產效率、防止物料污染。針對化工企業的強腐蝕、強溶劑場合,設備可選用過流部分襯塑來解決。
湖南優材新能源科技有限公司2100℃高溫立式連續石墨化爐高溫連續石墨化爐是一種用于連續生產的高溫石墨化設備,具有產能高、能耗低、產品一致性好、自動化程度高、人工勞動強度低等優點,廣泛應用于新能源汽車、手機通訊、光伏、軍工、航空航天、核能等領域。我公司研發生產的高溫連續石墨化爐目前在碳素及碳素制品石墨化連續生產中,已得到大規模使用,客戶連續穩定運行一年,已發揮可見經濟效益。
連續石墨化是一種將碳原料通過高溫處理轉化成石墨結構的方法,具有許多優異的性能特點,適用于多種領域的應用。首先,連續石墨化可以提高碳材料的導電性能,降低電阻率,使其在電子領域中應用更為廣泛。其次,連續石墨化可以增加材料的強度和硬度,提高其機械性能,使得其可以用于制備高強度、高硬度的材料,如碳纖維復合材料。
200標方PEM電解槽SHZP-200,氫氣產量:200Nm3/h,直流電耗:4.3kWh/Nm3,提純后氫氣純度:≥99.999%,適用工況:化工冶金、能源交通。
2000標方堿性電解水制氫裝置SHZJ-2000,氫氣產量:2000Nm3/h,直流電耗:4.5~4.7kWh/Nm3,提純后氫氣純度:≥99.999%,適用工況:化工冶金、能源交通。
SHZA4000GA四合一堿性電解水制氫裝置:氫氣產量:4000~4800Nm3/h,直流電耗:4.4kWh/Nm3,提純后氫氣純度:≥99.999%,適用工況:化工冶金、能源交通。
多溫區管式高溫高壓爐集控制系統與爐膛為一體。爐襯使用真空成型高純氧化鋁聚輕材料,采用硅碳棒為加熱元件,均勻分布于爐管兩側,溫場均勻可靠。鎳基合金材料制成的金屬爐管配備CF法蘭密封形式及金屬紫銅密封圈,提高設備的使用溫度,同時能實現在一定的高壓條件下實驗。工件式樣在管中加熱,加熱元件與爐管平行,均勻地分布在爐管外,有效的保證了溫場的均勻性。
新能源材料設備是由開啟式真空管式爐根據特殊工藝要求而設計的,其滑軌式結構設計在實驗過程中可滿足多種工藝要求,可將樣品直接推至實驗所需設定高溫區,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環境下,得到快速的降溫速率,滿足工藝要求對升降溫要求較高的實驗,是一款性價比很高的產品,同時具有一定的可擴展性,比較適用于二維材料,碳材料的實驗要求。